Naváděcí oko pro MEMS

Problém: Aby se lékaři ujistili, že se během operace Lasik pro korekci zraku zaměří na správné části rohovky, spoléhají na skener, který reaguje na pohyby očí a přesměruje laserové pulzy. Dnešní skenery stojí tisíce dolarů a stále nabízejí méně než ideální přesnost.

Kruhová zrcadla vyřezaná do křemíku jsou ovládána pohyby hřebenových struktur. (S laskavým svolením Hyuck Choo)

Řešení: Na Kalifornské univerzitě v Berkeley použili vědci z Microfabrication Laboratory nenákladné techniky k sestrojení mikroskopu, který se pohybuje až 30 000krát za sekundu, oproti 4000krát za sekundu u konvenční technologie. Postgraduální studenti Hyuck Choo a David Garmire vynalezli způsob, jak vyřezat jeden kus křemíku do dvou propletených hřebenových struktur. Přivedením napětí na jeden hřeben se druhý pohne nahoru nebo dolů. Zrcadlo připevněné k hřebenům přesměruje laserový paprsek. Zatímco hřebenové pohony se již používají v některých mikroelektromechanických systémech (MEMS), hřebeny musely být postaveny na samostatných křemíkových plátcích a ručně klínovány. Protože se nové zařízení snadno vyrábí, nejedná se pouze o dílčí krok, ale o významný vývoj, říká Roger T. Howe, elektrotechnik Stanfordské univerzity, který v 80. letech vynalezl hřebenový pohon. Choo říká, že tato technologie by mohla být levně začleněna do chirurgických skenerů a dalších zařízení.

skrýt